Hệ thống lò PECVD
Sản phẩm này là một hệ thống PECVD trượt mở cỡ trung bình. Hệ thống lò ống PECVD này được trang bị nguồn điện RF plasma, hệ thống trộn khí dòng khối ba chiều (với phạm vi 1-100 SCCM, 1-200 SCCM và 1-200 SCCM), lò ống hở đường kính 60mm (có mặt bích chân không và đường ống kết nối) và một máy bơm cơ khí.
Thông tin sản phẩm
| Mẫu sản phẩm | Hệ thống lò ống PECVD trượt——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Thông số sản phẩm chính | Nguồn điện: 220V 50/60Hz; Công suất định mức: 3,1 kW; Nhiệt độ hoạt động tối đa: 1200°C (<0,5 h); Nhiệt độ hoạt động liên tục: 1100°C; Tốc độ gia nhiệt khuyến nghị: 10°C/phút; Chiều dài vùng sưởi: 440mm; Cặp nhiệt điện: Loại K |
| Các tính năng chính | Nguồn điện RF có thể tăng cường plasma và giảm đáng kể nhiệt độ thí nghiệm; Có thể đạt được sự tăng giảm nhiệt độ nhanh chóng bằng cách trượt thân lò; sức căng của màng có thể được kiểm soát bằng tần số của nguồn điện RF; phép cân bằng hóa học có thể được kiểm soát bằng cách điều chỉnh quá trình; có thể lắng đọng nhiều vật liệu khác nhau như SiOx, SiNx, SiOxNy và (a-Si:H) |
| yếu tố làm nóng | Dây hợp kim sắt-crom-nhôm 0Cr21Al6Nb |
| Kích thước ống lò | Đường kính ống thạch anh tùy chọn: Φ60 |
| Hệ thống kiểm soát nhiệt độ | Bao gồm bộ điều khiển nhiệt độ YD858; Điều khiển PID và điều chỉnh tự điều chỉnh, điều khiển lập trình 50 đoạn thông minh, có chức năng cảnh báo quá nhiệt và kiệt sức; độ chính xác kiểm soát nhiệt độ: ± 1oC |
| Cung cấp năng lượng RF plasma | Nguồn điện RF 300W; Công suất đầu ra: có thể điều chỉnh 0 ~ 300W; Tần số RF: 13,56MHZ; Kết hợp tự động; Độ ồn < 50dB; Phương pháp làm mát: Làm mát bằng không khí; Điện áp đầu vào: 180~250V |
| Giao diện mặt bích niêm phong chân không | Cấu hình tiêu chuẩn: một cặp mặt bích chân không bằng thép không gỉ và vòng đệm silicon nhiệt độ cao; mặt bích đầu ra là mặt bích ba cổng K16, KF25 và Φ8.2; mặt bích đầu ra có thể được kết nối với bộ chuyển đổi KF25 bằng ống thổi và sau đó với bơm chân không. |
| bơm chân không | Áp dụng bơm chân không cơ khí cánh quạt quay đôi TRP-12; độ chân không có thể đạt tới 10-2torr; Phụ kiện kết nối chân không được trang bị kẹp KF25 và ống xếp bằng thép không gỉ để kết nối lò nung ống và bơm chân không |
| Hệ thống cung cấp khí | Hệ thống trộn dòng khối ba chiều - GYS-3Z; Nguồn điện: 220V 50/60Hz; Dải đo: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Đồng hồ đo áp suất cơ học được lắp đặt ở mặt trước và nối với ống trộn; Phạm vi đo áp suất: -0,1-0,15MPa; Kích thước bể trộn: Φ80*120mm; Ống nối bên trong là Φ6,35 |
| Kết cấu lò | Thân lò có thể được di chuyển sang trái và phải, và nguồn điện RF có thể được di chuyển sang trái và phải. Thân lò và nguồn điện RF được lắp đặt trên cùng một thanh trượt và sử dụng cùng một ống thạch anh. |
| Tiêu chuẩn chứng nhận và các thành phần cốt lõi | Các thành phần cốt lõi của toàn bộ máy tuân thủ các tiêu chuẩn chứng nhận CE, UL, MET và các tiêu chuẩn chứng nhận khác; các thành phần cốt lõi bao gồm các thành phần điện ABB, dây và cáp được chứng nhận UL, các thiết bị Omega, Yudian, Continental, v.v. |
Liên hệ với chúng tôi
Chiết Giang Neng Cheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Chiết Giang Neng Cheng Crystal Fiber Co., Ltd. được thành lập vào năm 2015. Đây là một doanh nghiệp chuyên nghiệp phát triển và sản xuất vật liệu chịu nhiệt siêu nhẹ tiết kiệm năng lượng, và bán lò điện thí nghiệm, lò điện công nghiệp và lò điện tùy chỉnh theo yêu cầu. Chuyên nghiệp Hệ thống lò PECVD Nhà sản xuất và Hệ thống lò PECVD Nhà máyCông ty tuân thủ nguyên tắc "sống sót nhờ chất lượng, phát triển nhờ uy tín" và đề cao triết lý kinh doanh "thực tế, chính trực và hiệu quả". Chúng tôi cam kết cung cấp các giải pháp thiết bị toàn diện và chất lượng cao cho khách hàng trong các ngành công nghiệp như gốm sứ, luyện kim, điện tử, thủy tinh và kỹ thuật hóa học. Chúng tôi cũng cung cấp các dịch vụ như nung bột, thiêu kết gốm và thí nghiệm nhiệt độ cao cho các trường đại học, viện nghiên cứu và các doanh nghiệp công nghiệp và khai thác mỏ. Đồng thời, chúng tôi cũng đang nỗ lực thúc đẩy sự phát triển chiến lược của sợi alumina chịu nhiệt độ cao, nhẹ, tiết kiệm năng lượng và thân thiện với môi trường của Nengcheng trong lĩnh vực lò nung mới, và phấn đấu trở thành nhà cung cấp dịch vụ thiết bị nhiệt độ cao tiên tiến hàng đầu quốc tế. Hệ thống lò PECVD Tùy chỉnh.
Tin tức mới nhất
-
Giới thiệu về Xử lý nhiệt chân không Xử lý nhiệt chân không là một quy trình luyện kim tiên tiến được sử dụng để cải thiện tính chất cơ học và độ bền của các bộ phận công nghiệp. Bằng cách làm nóng vật liệu trong môi trường chân không, quá trình oxy hóa và ô nhiễm được giảm thiểu, mang lại hiệu suất vật liệu chính xác và nhất quán. Kỹ thuật này được áp dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp như hàng không vũ trụ, ô tô, sản xuất công cụ và điện tử. Tăng cường sức mạnh và độ ...
