Lò ống PECVD
Lò ống PECVD là hệ thống lò ống lắng đọng pha khí plasma, bao gồm buồng phản ứng thạch anh, nguồn điện tần số vô tuyến, hệ thống trộn khí đa kênh, bộ phận chân không và hệ thống điều khiển phản ứng. Lò sử dụng vật liệu sợi alumina có độ tinh khiết cao và bề mặt được phủ lớp phủ alumina nhiệt độ cao nhập khẩu để kéo dài tuổi thọ của thiết bị và nâng cao hiệu quả sưởi ấm. Một thiết bị cảm ứng tần số vô tuyến được lắp đặt phía trước thiết bị lắng đọng hơi hóa học truyền thống để ion hóa khí phản ứng và tạo ra plasma. Hoạt tính cao của plasma làm tăng tốc độ phản ứng. Nó có tính đồng nhất và độ lặp lại tốt, có thể tạo màng trên diện rộng, có thể tạo màng ở nhiệt độ thấp, có độ bao phủ bước tuyệt vời, dễ kiểm soát thành phần và độ dày của màng và dễ công nghiệp hóa. Nó được sử dụng rộng rãi trong việc phát triển các màng mỏng như graphene, silicon monoxide, silicon nitride, silicon oxynitride và silicon vô định hình (A-SI: H).
| Kích thước ống lò (MM) | Nhiệt độ hoạt động (° C) | Độ chân không | Công suất (KW) | Điện áp | yếu tố làm nóng | Tốc độ gia nhiệt |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Dây điện trở | 1-20°C/PHÚT |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Lớp lót lò hiếm khi bị hỏng do lò đạt đến nhiệt độ không thể đạt được. Nó thường thất bại vì vật liệu chịu lửa được chọn không phù hợp với hỗn hợp nhiệt, hóa học, tải trọng và chu trình nhiệt. Những triệu chứng quen thuộc: nứt nẻ trên mặt nóng, hở các khớp nối, ăn mòn các neo và lớp vỏ lặng lẽ tiêu tốn gas hoặc điện trong nhiều tháng. Câu trả lời ngắn gọn: chọn vật liệu chịu lửa lò theo chế độ hỏng hóc thứ nhất, nhiệt độ thứ hai và giá thứ ba. Sợi gốm và gạch chịu lửa...
