Lò ống PECVD
Lò ống PECVD là hệ thống lò ống lắng đọng pha khí plasma, bao gồm buồng phản ứng thạch anh, nguồn điện tần số vô tuyến, hệ thống trộn khí đa kênh, bộ phận chân không và hệ thống điều khiển phản ứng. Lò sử dụng vật liệu sợi alumina có độ tinh khiết cao và bề mặt được phủ lớp phủ alumina nhiệt độ cao nhập khẩu để kéo dài tuổi thọ của thiết bị và nâng cao hiệu quả sưởi ấm. Một thiết bị cảm ứng tần số vô tuyến được lắp đặt phía trước thiết bị lắng đọng hơi hóa học truyền thống để ion hóa khí phản ứng và tạo ra plasma. Hoạt tính cao của plasma làm tăng tốc độ phản ứng. Nó có tính đồng nhất và độ lặp lại tốt, có thể tạo màng trên diện rộng, có thể tạo màng ở nhiệt độ thấp, có độ bao phủ bước tuyệt vời, dễ kiểm soát thành phần và độ dày của màng và dễ công nghiệp hóa. Nó được sử dụng rộng rãi trong việc phát triển các màng mỏng như graphene, silicon monoxide, silicon nitride, silicon oxynitride và silicon vô định hình (A-SI: H).
| Kích thước ống lò (MM) | Nhiệt độ hoạt động (° C) | Độ chân không | Công suất (KW) | Điện áp | yếu tố làm nóng | Tốc độ gia nhiệt |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Dây điện trở | 1-20°C/PHÚT |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Lò nung đai lưới bảy vùng chạy ở 1120 °C có thể giữ ±3 °C trên băng tải mà vẫn vận chuyển các bộ phận có độ cứng không nhất quán, do điểm sương trong vùng khử dầu trôi đi sau khi tốc độ băng tải tăng lên. Đó là bản chất của luyện kim bột: lò nung không phải là một hộp nóng, nó là một lò phản ứng hóa học có gắn băng tải. Câu trả lời ngắn gọn: chọn lò luyện kim bột theo cửa sổ quy trình mà nó phải đáp ứng - hồ sơ loại bỏ chất bôi trơn, chất lượng không khí, nhiệt độ thiêu kết, tốc độ l...
